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iH1800愛德華半導(dǎo)體干泵維修
iH1800 干式泵 230V，60 Hz，3 相
A59040957
技術(shù)數(shù)據(jù)
峰值速度 1800 m3h-1
1060 cfm
30000 l min-1
極限真空 1 x 10-3 mbar
7.5 x 10-4 Torr
0.1 Pa
典型軸封氮流量 4 slm
進氣口連接 ISO160
出口連接 NW40
15 psi 壓降下典型冷卻水流量240 l h-1
4 l min-1
重量 502 kg
極限功率輸入 4.1 kW
電機額定功率 7.0 kW
油容量 1.6 l
所有數(shù)字均為無氣鎮(zhèn)時的典型值。
iH1800 干式泵 200/208V，50/60 Hz，3 相
A59060945
技術(shù)數(shù)據(jù)
峰值速度 1800 m3h-1
1060 cfm
30000 l min-1
極限真空 1 x 10-3 mbar
7.5 x 10-4 Torr
0.1 Pa
典型軸封氮流量 4 slm
進氣口連接 ISO160
出口連接 NW40
15 psi 壓降下典型冷卻水流量240 l h-1
4 l min-1
重量 502 kg
極限功率輸入 4.1 kW
電機額定功率 7.0 kW
油容量 1.6 l
所有數(shù)字均為無氣鎮(zhèn)時的典型值。
iH1800HTX 干式泵 460V，60 Hz，3 相
A59042908
技術(shù)數(shù)據(jù)
峰值速度 1800 m3h-1
1060 cfm
30000 l min-1
極限真空 1 x 10-3 mbar
7.5 x 10-4 Torr
0.1 Pa
典型軸封氮流量 4 slm
進氣口連接 ISO160
出口連接 NW40
15 psi 壓降下典型冷卻水流量240 l h-1
4 l min-1
重量 502 kg
極限功率輸入 4.1 kW
電機額定功率 7.0 kW
油容量 1.6 l
所有數(shù)字均為無氣鎮(zhèn)時的典型值。
iH1800HTX 干式泵 200/208V，50/60 Hz，3 相
A59042945
技術(shù)數(shù)據(jù)
峰值速度 1800 m3h-1
1060 cfm
30000 l min-1
極限真空 1 x 10-3 mbar
7.5 x 10-4 Torr
0.1 Pa
典型軸封氮流量 4 slm
進氣口連接 ISO160
出口連接 NW40
15 psi 壓降下典型冷卻水流量240 l h-1
4 l min-1
重量 502 kg
極限功率輸入 4.1 kW
電機額定功率 7.0 kW
油容量 1.6 l
所有數(shù)字均為無氣鎮(zhèn)時的典型值。
iH1800HTX 干式泵 380/415V，50 Hz，3 相
A59042946
技術(shù)數(shù)據(jù)
峰值速度 1800 m3h-1
1060 cfm
30000 l min-1
極限真空 1 x 10-3 mbar
7.5 x 10-4 Torr
0.1 Pa
典型軸封氮流量 4 slm
進氣口連接 ISO160
出口連接 NW40
15 psi 壓降下典型冷卻水流量240 l h-1
4 l min-1
重量 502 kg
極限功率輸入 4.1 kW
電機額定功率 7.0 kW
油容量 1.6 l
所有數(shù)字均為無氣鎮(zhèn)時的典型值。
iH1800HTX 干式泵 230V，60 Hz，3 相
A59042957
技術(shù)數(shù)據(jù)
峰值速度 1800 m3h-1
1060 cfm
30000 l min-1
極限真空 1 x 10-3 mbar
7.5 x 10-4 Torr
0.1 Pa
典型軸封氮流量 4 slm
進氣口連接 ISO160
出口連接 NW40
15 psi 壓降下典型冷卻水流量240 l h-1
4 l min-1
重量 502 kg
極限功率輸入 4.1 kW
電機額定功率 7.0 kW
油容量 1.6 l
所有數(shù)字均為無氣鎮(zhèn)時的典型值。
iH1800HTX 干式泵 200/208V，50/60 Hz，3 相
A59062945
技術(shù)數(shù)據(jù)
峰值速度 1800 m3h-1
1060 cfm
30000 l min-1
極限真空 1 x 10-3 mbar
7.5 x 10-4 Torr
0.1 Pa
典型軸封氮流量 4 slm
進氣口連接 ISO160
出口連接 NW40
15 psi 壓降下典型冷卻水流量240 l h-1
4 l min-1
重量 502 kg
極限功率輸入 4.1 kW
電機額定功率 7.0 kW
油容量 1.6 l
所有數(shù)字均為無氣鎮(zhèn)時的典型值。
通過增加正常運行時間、減少對環(huán)境的影響以及良好的成本效益，iXM 低能耗干泵可為您的關(guān)鍵應(yīng)用帶來真正的制程改進。
高效的根源機制可將輸入功率減少多達 60％，從而減少對環(huán)境的影響并降低總體使用成本
氣體阻隔技術(shù)和隔熱設(shè)計方面的改進使產(chǎn)品的抗腐蝕性比我們之前的系列提高了四倍
先進的粉塵處理功能可為多層蝕刻工藝提供更高的可靠性，延長真空泵使用壽命，并降低 CVD 工藝的功耗
緊湊輕巧的設(shè)計，加上極低的噪聲和振動，可提供更多的用途
采用 Xcede 技術(shù)，增強了耐腐蝕性。
半導(dǎo)體干泵用于重型應(yīng)用的 iXH 系列
iXH 干泵系列為嚴(yán)苛的工藝能力、可靠性和更低的擁有成本樹立了新標(biāo)準(zhǔn)。
寬廣的溫度范圍使您可以對真空設(shè)備進行優(yōu)化，更大地減少冷凝和電鍍的副產(chǎn)物累積
iXH Mk2 干泵可在嚴(yán)苛的工藝中提供更長的使用壽命，并且可以顯著提高功效
創(chuàng)新的密封技術(shù)可以延長制程壽命并降低泄漏風(fēng)險
采用 Xcede 技術(shù)，增強了耐腐蝕性。
iH1800愛德華半導(dǎo)體干泵維修
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