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半導(dǎo)體PS2002/PS2202漢鐘螺桿泵維修保養(yǎng)PS系列螺桿真空泵 定螺距螺桿轉(zhuǎn)子特點： 1、結(jié)構(gòu)簡單，故障率低，成本較低，易維修 2、高壓段功耗相對低，適用于高負(fù)載應(yīng)用場合 3、排氣路徑短，減少反應(yīng)物沉積 適用一般真空鍍膜、烤箱、熱處理、太陽能產(chǎn)業(yè)、半導(dǎo)體面板業(yè)制程 PS系列螺桿真空泵型號：PS80、PS160、PS180、PS602、PS902、PS1302、PS1802 PD系列螺桿真
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PS180漢鐘干式螺桿泵維修PS系列螺桿真空泵 定螺距螺桿轉(zhuǎn)子特點： 1、結(jié)構(gòu)簡單，故障率低，成本較低，易維修 2、高壓段功耗相對低，適用于高負(fù)載應(yīng)用場合 3、排氣路徑短，減少反應(yīng)物沉積 適用一般真空鍍膜、烤箱、熱處理、太陽能產(chǎn)業(yè)、半導(dǎo)體面板業(yè)制程 PS系列螺桿真空泵型號：PS80、PS160、PS180、PS902、PS1302、PS1802 PD系列螺桿真空泵型號：PDF110,PD12
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